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擴散泵生產(chǎn)中

真空操作規(guī)程只有在使用時遵守一定的操作規(guī)程,才能**系統(tǒng)的正常工作。前已詳細敘述過有關(guān)機械泵、擴散泵的操作規(guī)程。經(jīng)人們生產(chǎn)實…

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四川擴散泵

真空操作規(guī)程

只有在使用時遵守一定的操作規(guī)程,才能保證系統(tǒng)的正常工作。前已詳細敘述過有關(guān)機械泵、擴散泵的操作規(guī)程。經(jīng)人們生產(chǎn)實踐,對排氣系統(tǒng),也同樣總結(jié)出來一套操作規(guī)程。以高真空排氣系統(tǒng)為例(其他真空設(shè)備可仿照施行),其操作規(guī)程如下:

①檢查真空系統(tǒng)各部分,熟悉系統(tǒng)的氣路結(jié)構(gòu),了解真空系統(tǒng)各元件的作用以及操作部分的電路聯(lián)接。

②關(guān)閉放氣閥門,啟動機械泵,對系統(tǒng)進行抽氣,并隨時用火花檢漏器對系統(tǒng)各部分進行檢漏。如系全金屬系統(tǒng),則可關(guān)閉閥門,用真空計讀數(shù)記下P-t曲線(作靜態(tài)升壓試驗)。如壓強隨時間呈直線上升,可斷定系統(tǒng)有漏氣源,應(yīng)進行檢漏。

③當(dāng)系統(tǒng)真空度達到油擴散泵的前置壓強(5×10-2托)后,啟動擴散泵,使加熱電流逐漸升到額定(.佳)值。在啟動擴散泵前,必須先開冷卻水。

④擴散泵正常工作后,用火花檢漏器(或熱偶計)判斷量測系統(tǒng)的真空度。到10-3托以上(熱偶計近滿偏或95格以上)才能使用電離真空計。使用時先對規(guī)管除氣,后測量真空度。

⑤對系統(tǒng)進行烘烤去氣處理。對玻璃系統(tǒng)而言,硬玻璃烘烤溫度為400℃~450℃ ,軟玻璃為350℃~400℃ 。去氣時間視具體要求而定,一般1~2小時。去氣完后,真空度仍達不到要求,應(yīng)使用電離計記P-t曲線,以判斷是否漏氣。亦可用丙酮、酒精等涂抹可疑處,看表針的擺動以發(fā)現(xiàn)漏孔。若為去氣不良,應(yīng)進一步烘烤,加長時間去氣。新系統(tǒng)一般要抽較長時間才能達到預(yù)期的真空度。真空度老上不去,則要考慮系統(tǒng)設(shè)計、安裝是否合理,有無死空間,放氣源多否,維修時是否帶進了臟物,被抽容器是否清潔等其他因素。

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